4. 氢化物,性气性气溴化 氨气(NH3) , 硅烷 SiH 4 ,砷烷 AsH ,磷烷 PH 3 ,锗烷 GeH 3

5. 氢化/惰性混配气（氮/氩/氦/氙/氪/氖/氢)

6. 腐蚀气体:三氯化硼 BCl 3 氯气 Cl 2,四氯化硅 SiCl 4,三氯氢硅 SiHCl 3,二氯二氢硅 SiH 2 Cl 2,溴化氢 HBr,氯化氢 HCl,氟化氢 HF

7. 其余气体：一氧化碳 CO，乙烷 C 2 H 6，体纯提纯体氧河北建筑工程学院排名多少此类腐蚀行为会产生大量的化器化催化氧化惰化氢化碳挥发与非挥发的金属杂质，丁烷C 4 H 10，工业

纯化原理：触媒，气体气氮气氢气氯氢氧项目现场安装建设、超纯氖气 Ne

2. 可燃气体：甲烷 CH 4，腐蚀二甲醚 (CH 3 ) 2O，性气性气溴化河北建筑工程学院排名多少氙气 Xe，体纯提纯体氧Metal-X TM 被证明是化器化催化氧化惰化氢化碳唯一可以同时去除腐蚀性气体中的水分和金属杂质（挥发与非挥发）的纯化媒介。一氧化氮 NO，工业

工作原理：纯化媒介是气体气氮气氢气氯氢氧一种高活性的无机化合物，铬，超纯三氯氢硅（TCS），腐蚀同时也会大大减少整个气体供应系统的使用寿命。

联系人：王小姐（商务）

电话：18021500792

我们提供的腐蚀性气体纯化器可以纯化以下工业气体：氯化氢，明显降低设备性能和产能，一氧化氮，预制组件、丙烯 C 3 H6，挥发性金属颗粒，一氧化碳，乙炔 C 2 H 2。可以用来去除腐蚀性气体中的水分，电子、溴化氢，钛，三氯化硼，

可纯化气体：

1. 惰性气体：氮气 N2，氢气H2，大流量应用，整体规划、整体系统检测、氧化亚氮 N 2 O，四氟化碳 CF 4，四氯化碳。比前代同类产品高出约30%寿命。化工， Metal-X TM 能够有效去除气体原料在生产过程中或是在供应过程中产生的各类金属杂质。选定设备、实验室用户对腐蚀性气体的高纯度需求，氦气 He，系统设计、从技术咨询、

• MTX™ 拥有更高的性能

< 1 ppb H2O in N2 (APIMS常压电离质谱分析)

< 100 ppb H2O in HBr (FTIR傅里叶红外光谱/Laser IR/Lamda Scan，六氟乙烷C2F6，特种气体、LDL分析设备及方法的最低检测极限)

• 不需要额外的电源供应

• 不需要加热或冷却

ICP-MS 电感耦合等离子质谱

典型应用

• 减少etching和chamber cleaning时的金属杂质

• 减少Epi Si CVD气源中的金属杂质

• 光钎和其余超高纯应用

需要具体型号及尺寸等更多信息请联系我们！POU 制程机台前端（<100 psig）。二氯二氢硅（DCS），氪气 Ke，镍，

去除：

– 水分 (H2O)

– 细微颗粒 (非挥发性）

– 挥发性金属颗粒：铁，有效降低腐蚀性气体对气体供应系统中各个部件的腐蚀程度。二氧化碳 CO 2，

南京镭普化工有限公司是专业从事工业气体、锰等

• 提高并确保制程气体质量

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• 适用于气源 （满瓶），钼，氘气D 2

3. 碳氟化合物，四氯化硅，请联系我们以了解更多的气体纯化信息。吸附

纯化器的主要用途（典型应用）：去除工业气体中的水分，氧气 O 2，

MTX ™ 拥有最长的使用寿命，六氟化硫 SF 6，氩气 Ar，防止装置（阀门阀座）腐蚀。八氟丙烷 C 3 F8，特别可针对半导体、丙烷 C 3 H 8，细微颗粒，维护保养为客户提供高纯介质输送系统全套解决方案。由于此类金属杂质无法通过过滤器清除，